[19p-PA2-1~9] 1.3 新技術・複合新領域

[19p-PA2-7] 反射型レチクルフリー露光装置を用いた不均一伸縮基板対応アライメント方式に関する研究

^○刀根輝徳¹，横山聡²，久保田弘¹，吉岡昌雄² (熊大院自¹，熊大工²)

キーワード：アライメント,alignment