[19p-PA2-1~9] 1.3 新技術・複合新領域

[19p-PA2-8] マイクロ波励起水中気泡プラズマによるレジスト膜除去処理特性にレジスト材料が及ぼす影響

^○石島達夫¹，野阪幸平¹，田中康規¹，上杉喜彦¹，後藤洋介²，堀邊英夫³ (金沢大¹，金沢工大²，阪市大³)

キーワード：レジスト,マイクロ波,プラズマ