[19p-PG3-1~32] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

△ [19p-PG3-19] AuとGeの同時スパッタによるGe薄膜の結晶化

^○杉山貴俊¹，神子公男²，弓野健太郎¹ (芝浦工大¹，東大生研²)

キーワード：ポリシリコン