[19p-PG3-1~32] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[19p-PG3-2] アレイ型MEMS加速度センサ -2軸MEMS加速度センサの検討-

^○松島隆明¹，小西敏文¹，山根大輔²，伊藤浩之²，石原昇²，年吉洋³，町田克之^1,2，益一哉² (NTTアドバンステクノロジ¹，東工大²，東大³)

キーワード：MEMS,加速度センサ,Accelerometer