[19p-PG3-1~32] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[19p-PG3-22] 可視レーザ照射による多結晶シリコン結晶粒の結晶成長の促進

^○河本直哉¹，只友一行¹，部家彰²，松尾直人² (山口大院理工¹，兵庫県立大院工²)

キーワード：多結晶シリコン