2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

13．半導体A（シリコン） » 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[20a-E14-1~10] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

2014年3月20日(木) 09:00 〜 11:45 E14 (E302)

10:30 〜 10:45

[20a-E14-6] 軟X線照射によるH3PO4塗布Si中のP原子活性化

○部家彰1，平野翔大1，草壁史1，松尾直人1，神田一浩2 (兵庫県立大工1，兵庫県立大高度研2)

キーワード：不純物活性化,軟X線,リン