11:00 〜 11:15
▲ [20a-E14-8] Improving Crystalline Quality of Pulsed-Laser-Microcrystallized Si Thin Films by the Two-Step Irradiation Method
キーワード：laser,crystallization,TFT
講演情報
一般セッション(口頭講演)
13．半導体A（シリコン） » 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術
[20a-E14-1~10] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術
2014年3月20日(木) 09:00 〜 11:45 E14 (E302)