2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

13．半導体A（シリコン） » 13.5 Si-English Session

[20a-F10-1~13] 13.5 Si-English Session

2014年3月20日(木) 09:00 〜 12:30 F10 (F406)

12:15 〜 12:30

[20a-F10-13] Mobility Enhancement in TiO2-Channel TFTs by Decreasing In-Gap States in The Film and Mitigating Grain Boundary Adsorption

○矢嶋赳彬，小池豪，西村知紀，長汐晃輔，鳥海明 (東大マテ)

キーワード：電界効果移動度,ギャップ内準位