[20a-F12-1~13] 13.4 デバイス/集積化技術

[20a-F12-6] TEMその場観察法によるCu/WO_x抵抗変化型メモリの特性評価

^○高橋謙仁，大野裕輝，中根明俊，工藤昌輝，浜田弘一，有田正志，高橋庸夫 (北大院情報)

キーワード：ReRAM,WO,Cu