[20a-PG1-1~17] 15.4 III-V族窒化物結晶

[20a-PG1-14] AlONバッファー層を用いたサファイア基板上へのAlN のRF-MBE成長

^○牧本俊樹¹，熊倉一英²，前田理也¹，小林祐輝¹，山本秀樹²，堀越佳治¹ (早大理工¹，NTT物性基礎研²)

キーワード：AlN,MBE,サファイア基板