2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

06.薄膜・表面 » 6.4 薄膜新材料

[20p-D6-1~8] 6.4 薄膜新材料

2014年3月20日(木) 13:00 〜 15:00 D6 (D209)

13:30 〜 13:45

[20p-D6-3] LiHエピタキシャル薄膜の成長機構

大口裕之1,池庄司民夫2,3,桑野博喜1,折茂慎一2,3,白木将3,一杉太郎3 (東北大院工1,東北大金研2,東北大AIMR3)

キーワード:水素化物薄膜,界面,エピタキシャル成長