[20p-D6-1~8] 6.4 薄膜新材料

[20p-D6-4] 沿面放電による酸化スズ膜の作製における雰囲気制御の効果

丹祐人，金指翔大，花井利通，^○奥谷昌之 (静岡大院工)

キーワード：沿面放電,プラズマ,酸化スズ