[20p-D6-1~8] 6.4 薄膜新材料

[20p-D6-5] 常温大気圧下でのコプラナー型沿面放電によるSnO₂薄膜の形成における磁場印加の効果

^○金指翔大，丹祐人，花井利通，奥谷昌之 (静岡大院工)

キーワード：沿面放電,プラズマ,酸化スズ