一般セッション(口頭講演)
[13p-1F-1~2] 8.8 プラズマエレクトロニクス分科内招待講演
2015年9月13日(日) 13:00 〜 14:30 1F (レセプションホール1)
座長:杤久保 文嘉(首都大)
△:奨励賞エントリー
▲:英語発表
▼:奨励賞エントリーかつ英語発表
空欄:どちらもなし
13:00 〜 13:45
Fei-Xiang Liu1, Zhi-Wen Cheng1, 〇Yi-Kang Pu1 (1.Tsinghua Univ.)
13:45 〜 14:30
〇Peter L. G. Ventzek1, H. Ueda2, Y. Kobayashi2, T. Iwao2, K. Ishibashi2, A. Ranjan3, M. Wang3, A. Suzuki2, H. Higuchi2, B. Lane1, R. Upadhyay4, G.S. Hwang5, L. Raja5, A. Koshiishi6 (1.Tokyo Electron America Inc., 2.Tokyo Electron Ltd., 3.Tokyo Electron Tech. Center America, 4.Esgee Tech., 5.Univ. of Texas at Austin, 6.Tokyo Electron Miyagi Ltd.)