2:30 PM - 2:45 PM
[13p-1E-6] Bulk lifetime of free carriers evaluated by laser-beam refraction: II. Apparatus and demonstrative measurements
Keywords:carrier-lifetime,laser,refraction
定常的なレーザ励起によってウェーハ内部に生成されたフリーキャリアの濃度分布をもう一つのレーザビームの屈折を観測することによって求めるという技術を可能にする装置構成を紹介し，実際にこの装置によって計測した屈折角曲線θ(z)とフリーキャリアの濃度分布C(z) の結果を紹介する．本技術の中核であるフリーキャリアを生成するためのＹＡＧレーザビームと屈折観測用の赤外レーザビームとが互いに平行になるビーム配置を実現する方法を説明する．