[13p-1E-1~17] 15.8 Crystal evaluation, impurities and crystal defects

[13p-1E-5] Bulk lifetime of free carriers evaluated by laser-beam refraction: I. Demonstration of measuring principle

〇Hiroshi Kaneta¹, Omura Ichiro¹ (1.Kyushu Inst. Tech.)

Keywords:carrier-lifetime,laser,refraction

シリコンウェーハのバルクキャリア寿命を評価するための新原理を提案し，実現可能性を示す．波長1064 nmのYAGレーザをウェーハに定常照射してウェーハ内部にフリーキャリアの濃度分布をつくる．YAGビームと平行に赤外レーザビームをウェーハに透過させ，ビーム間の距離を変えながら赤外ビームの屈折角を測定することでフリーキャリアの濃度分布を求め，その結果から寿命を求める．