[13p-2W-1~16] 15.5 Group IV crystals and alloys

[13p-2W-6] Delta-Doped Phosphorus on Germanium Studied by 3D Atom Probe

〇Yasuo Shimizu¹, Michihiro Yamada², Bin Han¹, Yuan Tu¹, Kentarou Sawano³, Masashi Uematsu², Kohei M. Itoh², Koji Inoue¹, Yasuyoshi Nagai¹ (1.IMR Tohoku Univ., 2.Keio Univ., 3.Tokyo City Univ.)

Keywords:atom probe,germanium,delta doping

我々はn型Geへの低抵抗極浅オーミック電極形成を念頭に，デルタドーピング法の確立を目指している．これまで，Pのデルタドープ前に炭素を導入することで表面への偏析が大幅に抑制され，急峻なP濃度分布が得られることを二次イオン質量分析法を用いて検証してきた．本研究では，元素の空間分布を原子スケールで調べることが可能な３次元アトムプローブ法を適用して，デルタドーピング層近傍における原子の振る舞いを評価した．