[13p-PB3-1~2] 15.7 エピタキシーの基礎

[13p-PB3-2] ミストCVD法により製作したα-(AlGa)₂O₃の熱的安定性

〇高橋 幹夫¹、畠山 匠¹、尾沼 猛儀¹、山口 智広¹、本田 徹¹ (1.工学院大学)

キーワード：ミストCVD