2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

6 薄膜・表面 » 6.2 カーボン系薄膜

[14a-4F-1~11] 6.2 カーボン系薄膜

2015年9月14日(月) 09:00 〜 12:00 4F (438)

座長:比嘉 晃(琉球大)

09:45 〜 10:00

[14a-4F-4] フィルタードアーク蒸着DLC膜の100℃近傍の成膜温度依存性

〇(M2)藤井 裕真1、今井 貴大1、宮本 優1、針谷 達1、須田 善行1、滝川 浩史1、田上 英人2、神谷 雅男3、瀧 真4、長谷川 祐史4、辻 信広4、金子 智5、安井 治之6、國次 真輔7、川口 雅弘8、三浦 健一9 (1.豊橋技科大、2.北九州高専、3.伊藤光学、4.オンワード技研、5.神奈川県産技セ、6.石川工試、7.岡山工技セ、8.東京都産技研、9.大阪府産技研)

キーワード:DLC膜、フィルタードアーク蒸着、温度依存性