[14a-4F-1~11] 6.2 カーボン系薄膜

△ [14a-4F-4] フィルタードアーク蒸着DLC膜の100℃近傍の成膜温度依存性

〇(M2)藤井 裕真¹、今井 貴大¹、宮本 優¹、針谷 達¹、須田 善行¹、滝川 浩史¹、田上 英人²、神谷 雅男³、瀧 真⁴、長谷川 祐史⁴、辻 信広⁴、金子 智⁵、安井 治之⁶、國次 真輔⁷、川口 雅弘⁸、三浦 健一⁹ (1.豊橋技科大、2.北九州高専、3.伊藤光学、4.オンワード技研、5.神奈川県産技セ、6.石川工試、7.岡山工技セ、8.東京都産技研、9.大阪府産技研)

キーワード：DLC膜、フィルタードアーク蒸着、温度依存性