[14a-PB7-1~14] 16 非晶質・微結晶

[14a-PB7-12] テクスチャ化Si基板上へのミスト法における反射防止膜の形成

山田 拓也¹、矢部 俊一¹、末次 悠人¹、渡邊 良祐¹、〇齋藤 洋司¹ (1.成蹊大院理工)

キーワード：シリコン太陽電池、テクスチャ、酸化チタン

ミスト法により反射防止膜の形成を試み、製造工程の簡略化と低コスト化を目指す。また、テクスチャ化Si基板に成膜した場合の反射率低減の効果を検討した。