[14p-1B-1~9] 酸化物半導体の評価技術

[14p-1B-3] 硬Ｘ線・軟Ｘ線ダブル線源光電子分光装置による酸化物半導体の評価

〇牧野 久雄^1,2、野本 淳一¹、山本 哲也¹ (1.高知工科大総研、2.高知工科大シス工)

キーワード：酸化物半導体、Ｘ線光電子分光法

硬Ｘ線・軟Ｘ線ダブル線源光電子分光装置による酸化物半導体の評価への適用例として、Ga添加ZnO透明導電膜の表面近傍の化学状態評価について、高濃度ドーピングに特徴的なスペクトル解析上の注意点や表面状態とバルク状態（表面に対してより深い膜内部の状態）の分離に対する試み等について最近の進捗を紹介する。