[14p-PA9-1~14] 6.2 カーボン系薄膜

△ [14p-PA9-13] DLC成膜におけるRGB測定によるプラズマ観察と成膜評価の検討

〇(B)斎藤 雅史¹、河内 佑太¹、本間 章彦¹、平栗 健二¹、大越 康晴¹ (1.電機大)

キーワード：ダイヤモンドライクカーボン、プラズマ発光状態