[14p-PB6-1~11] 15.6 IV族系化合物（SiC）

[14p-PB6-8] 4H-SiC(000-1) の界面近傍酸化剤濃度と電気的特性

〇花里 耕平¹、蓮沼 隆¹、山部 紀久夫¹ (1.筑波大学)

キーワード：SiCパワーデバイス