2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

印刷

一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.4 III-V族窒化物結晶

[15a-1D-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

2015年9月15日(火) 08:45 〜 11:45 1D (141+142)

座長:小林 康之(弘前大),太田 実雄(東大)

11:30 〜 11:45

[15a-1D-11] UHVスパッタエピタキシー法によるAlInN層の成長 (II)

〇(M1)五味 敬太1、神田 赳志1、水野 愛1、篠田 宏之1、六倉 信喜1 (1.東京電機大工)

キーワード：スパッタ