2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.4 III-V族窒化物結晶

[15a-1D-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

2015年9月15日(火) 08:45 〜 11:45 1D (141+142)

座長:小林 康之(弘前大),太田 実雄(東大)

09:30 〜 09:45

[15a-1D-4] AlGaN成長に向けたRF窒素プラズマによる表面窒化α-(AlGa)2O3の評価

〇武馬 輝1、増田 直1、荒木 努1、織田 真也2、人羅 俊実2 (1.立命館大、2.FLOSFIA)

キーワード：α-(AlGa)2O3