[15a-2Q-1~12] 8.4 プラズマエッチング

△ [15a-2Q-6] 有機膜エッチングにおける側壁表面反応の基板温度依存性

〇福永 裕介¹、堤 隆嘉¹、竹田 圭吾¹、石川 健治¹、近藤 博基¹、関根 誠¹、堀 勝¹ (1.名大院工)

キーワード：エッチング、基板温度、側壁反応