11:00 〜 11:15
△ [15a-2Q-8] LaAlSiOxのlayer by layerエッチング
キーワード：エッチング、High-k
講演情報
一般セッション(口頭講演)
8 プラズマエレクトロニクス » 8.4 プラズマエッチング
[15a-2Q-1~12] 8.4 プラズマエッチング
2015年9月15日(火) 09:00 〜 12:15 2Q (231-1)
座長:辰巳 哲也(ソニー),石川 健治(名大)
一般セッション(口頭講演)
8 プラズマエレクトロニクス » 8.4 プラズマエッチング
2015年9月15日(火) 09:00 〜 12:15 2Q (231-1)
座長:辰巳 哲也(ソニー),石川 健治(名大)
11:00 〜 11:15
キーワード：エッチング、High-k