[15a-2S-1~11] 16.3 シリコン系太陽電池

△ [15a-2S-2] SMART (Seed Manipulation for ARtificially controlled defects Technique)法を用いたモノライクシリコンの結晶成長

〇高橋 勲¹、岩田 大将¹、市川 寛章¹、宇佐美 徳隆¹ (1.名大工)

キーワード：太陽電池、シリコン、結晶成長

モノライクSiにおいて、種結晶間からの転位発生や離ケイ剤からの不純物が問題となっている。本研究では、新規成長法として種結晶の方位、サイズ、配置を制御し、インゴット周辺部に高濃度欠陥領域を人工的に形成することで中心部の高品質化を目指したSMARTインゴットの成長に関し報告する。