[15a-2V-1~10] 8.2 Plasma measurements and diagnostics

△ [15a-2V-8] Physical Interpretation of Laser-driven EUV Light Source by Measurement of Laser Absorption

〇(PC)Hiraku Matsukuma¹, Tatsuya Hosoda¹, Shinsuke Fujioka¹, Hiroaki Nishimura¹, Tatsuya Yanagida², Koichiro Koge², Hiroaki Tomuro², Yasushi Takeuchi³, Atsushi Sunahara³ (1.Osaka Univ., 2.GigaPhoton, 3.Inst. Laser Tech.)

Keywords:EUV light source,laser-driven plasma

EUVリソグラフィー光源として、CO₂レーザー駆動SnプラズマによるEUV放射の開発が進められており、注入するレーザー光エネルギーからEUV放射エネルギーへの変換効率を現状の2-3 %から5 %程度へ上げることが要請されている。プラズマによるレーザー光の吸収率が変換効率を左右するため、その測定手法と測定結果について述べる。