[15a-2V-1~10] 8.2 Plasma measurements and diagnostics

[15a-2V-9] Development of a measurement system of ionic charge, electron density, and electron temperature for high-Z Soft X-ray light source plasmas

〇Kentarou Tomita¹, Yuta Sato¹, Nima Bolouki¹, Toshiaki Eguchi¹, Syoichi Tsukiyama¹, Kiichiro Uchino¹ (1.Kyushu Univ.)

Keywords:Thomson scattering,EUV

レーザー生成プラズマ方式は、低コストで軟X線光を生成可能である。我々はレーザー生成EUV光源用プラズマの電子密度・電子温度・イオン温度の同時計測を、協同的トムソン散乱法で進めてきた。さらなる計測の充実を図るため、現在は、イオン項計測に加え、電子項を同時に取得することを目指している。