[15a-4E-1~7] 7.1 X線技術

[15a-4E-7] ニュースバルBL10における軟Ｘ線吸収・反射率分析システム

〇村松 康司¹、原田 哲男²、渡邊 健夫²、木下 博雄² (1.兵県大院工、2.兵県大高度研)

キーワード：放射光、軟Ｘ線吸収、Ｘ線反射率

ニュースバルの軟Ｘ線ビームラインBL10における軟Ｘ線吸収・反射率分析の現状と最近の分析例について紹介する。これまでのビームライン整備により，70〜1100 eV領域の高分解能分光が可能になり，従前の反射率計と新たに導入した分析専用装置を組み合わせた軟Ｘ線吸収・反射率分析が可能になった。これにより，企業材料も含めた多様な軽元素薄膜材料の状態分析と膜質評価が進められている。