[15p-1A-1~14] 15.6 IV族系化合物（SiC）

△ [15p-1A-6] エキシマレーザードーピングによる4H-SiCコンタクト抵抗の改善

〇小島 遼太¹、池上 浩¹、池田 晃裕¹、中村 大輔¹、浅野 種正¹、岡田 龍雄¹ (1.九州大シス情)

キーワード：4H-SiC、レーザー、ドーピング