3:00 PM - 3:15 PM
[15p-2L-6] Deposition and composition dependence of Pb(Hf,Ti)O3 thin films
Keywords:piezoelectric thin films
代表的な圧電材料の一つであるPb(Zrx,Ti1-x)O3(PZT)のZrをHfに置き換えたPb(Hfx,Ti1-x)O3 (PHT)が,PZTと類似した特性を持つことが報告されている.我々は,前回の発表でPHTを薄膜化し,その圧電特性について報告した.PHT薄膜を作製し,その評価を行った結果,PZT薄膜に匹敵する圧電特性が得られることを確認した.本研究ではPHT薄膜の圧電特性について,その配向依存性およびシード層の効果について調べた.