[15p-2L-1~13] 6.1 強誘電体薄膜

[15p-2L-6] Pb(Hf,Ti)O₃薄膜の作製と組成依存性評価

〇西尾 正悟¹、黒川 文弥¹、辻浦 裕一¹、肥田 博隆¹、神野 伊策¹ (1.神大院工)

キーワード：圧電薄膜材料

代表的な圧電材料の一つであるPb(Zr_x,Ti_1-x)O₃(PZT)のZrをHfに置き換えたPb(Hf_x,Ti_1-x)O₃ (PHT)が，PZTと類似した特性を持つことが報告されている．我々は，前回の発表でPHTを薄膜化し，その圧電特性について報告した．PHT薄膜を作製し，その評価を行った結果，PZT薄膜に匹敵する圧電特性が得られることを確認した．本研究ではPHT薄膜の圧電特性について，その配向依存性およびシード層の効果について調べた．