[15p-4E-1~23] 7.2 電子ビーム応用

[15p-4E-20] ボルケーノ構造ダブルゲートスピント型フィールドエミッタアレイのビーム集束特性

〇長尾 昌善¹、後藤 康仁²、増澤 智昭³、根尾 陽一郎³、三村 秀典³ (1.産総研、2.京大院工、3.静大電研)

キーワード：フィールドエミッタアレイ、撮像素子、ダブルゲートFEA

我々は、フィールドエミッタアレイ(FEA)を使い耐放射線性の高い撮像素子の実現を目指し、要素技術開発を行っている。これまでに、マトリクス駆動が可能で、なおかつ、画素サイズを小さくするためにビーム集束が可能なFEAとして、ボルケーノ構造のゲートおよびフォーカス電極を有する、ダブルゲートのスピント型FEA（Volcano-structured double-gate Spindt-type FEA: VDGS-FEA）の作製プロセスを開発してきた。今回、VDGS-FEAから放出される電子ビームの集束特性を評価したので報告する。