[15p-4E-1~23] 7.2 電子ビーム応用

[15p-4E-6] 噴水型低エネルギー二次電子検出器による半導体pn接合の観察

〇関口 隆史¹、岩井 秀夫¹、木村 隆¹ (1.物材機構)

キーワード：pn接合、噴水検出器、走査電子顕微鏡

我々は、走査電子顕微鏡（SEM）のアウトレンズ領域に設置するLow-pass二次電子検出器を開発し、これを噴水型検出器（Fountain Detector）と名付けた。この検出器は、試料から上方に出射した二次電子を、対物レンズ下に置いたグリッドの負電界で反射させ、試料台の下に設置した検出器に導く構造である。
今回、本装置を用いて、半導体中のpn接合界面を観察したので報告する。