2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

6 薄膜・表面 » 6.2 カーボン系薄膜

[15p-4F-1~25] 6.2 カーボン系薄膜

2015年9月15日(火) 13:15 〜 20:00 4F (438)

座長:小山 和博(デンソー),齊藤 丈靖(大阪府立大),嘉数 誠(佐賀大)

14:45 〜 15:00

△ [15p-4F-7] 縦型構造トレンチチャネルC-HダイヤモンドMOSFET

〇斎藤 俊輝1、小林 幹典1、北林 佑哉1、松村 大輔1、稲葉 優文1、平岩 篤1、川原田 洋1 (1.早大理工)

キーワード：ダイヤモンド、MOSFET、縦型構造