[15p-PB2-1~53] 8 プラズマエレクトロニクス（ポスター）

[15p-PB2-42] 大気圧プラズマを用いた窒素含有高分子薄膜の形成

〇松林 俊樹¹ (1.芝浦工大)

キーワード：大気圧プラズマ、薄膜

大気圧プラズマ重合によって、親水性の窒素含有高分子薄膜形成を行い、使用するモノマーの選定、プラズマ条件の最適化及び薄膜評価について報告する。評価方法はMALDI、XPS、イメージングエリプソメトリの3点である。結果は高分子親水性薄膜の生成は達成できた。また、従来のプラズマジェットに比べ、有効処理面積が直径55mmと非常に広範囲であった。