[15p-PB2-1~53] 8 プラズマエレクトロニクス（ポスター）

[15p-PB2-45] 狭い溝を有するリング状ホロー電極を用いた高周波プラズマの空間構造

〇大津 康徳¹、松本 直樹¹、森田 優斗¹、Schulze Julian²、Schuengel Edmund² (1.佐大院工、2.West Virginia Univ.)

キーワード：容量結合プラズマ、ホロー陰極放電、機能性薄膜

本研究では、容量結合プラズマの高密度化を実現するために、リング状ホロー電極を用いた高周波プラズマを提案している。薄膜合成や微細加工において、プラズマの空間構造は重要な特性となる。今回は、W = 2 mmの狭いホロー溝幅をもつリング状ホロー電極を用いた高周波プラズマの空間構造について報告する。特に、実験的に得られたプラズマ密度の空間分布が、拡散モデルによる理論値と比較検討され、両者はほぼ一致する結果となった。講演では、溝深さDを変化させた結果についても報告する予定である。