[16a-1B-1~12] 21.1 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[16a-1B-2] 酸素ガス流量と放電電流を制御因子とした反応性プラズマ蒸着 Ga 添加 ZnO 膜のキャリア輸送制御

〇野本 淳一¹、牧野 久雄^1,2、北見 尚久³、酒見 俊之³、山本 哲也¹ (1.高知工科大総研、2.高知工科大システム工、3.住友重機械工業株式会社)

キーワード：透明導電酸化物、酸化亜鉛