[16a-2E-1~9] 3.13 Semiconductor optical devices

△ [16a-2E-4] Design of Metallic-Cavity Optical Modulator integrated on InP waveguide

〇(M2)Koh Chieda¹, Baifu Zhang¹, Takuya Okimoto¹, Takuo Tanemura¹, Yoshiaki Nakano¹ (1.Univ.of Tokyo)

Keywords:Optical modulator,Photonic integrated circuit,Compound semiconductor

オンチップ光インターコネクト、光スイッチの応用に向け、集積光変調器の小型化が求められている。金属を用いた微小光共振器光変調器は導波路と結合することで、 波長程度の大きさで集積することができ、低消費電力かつ高密度な光集積回路への応用が期待される。著者らは半導体導波路と結合した金属共振器について２次元FDTD計算を行い、長さ2µmの共振器において、挿入損失1.8dB、消光比4.3dBの強度変調が可能であることを示した。