[16a-2K-1~12] 1.3 新技術・複合新領域

[16a-2K-4] Si₃N₄/SiO₂メンブレン上へ製作したアンテナ結合マイクロボロメータ検出素子の特性評価

〇内田 貴司¹、松下 亮人¹、立木 隆¹ (1.防衛大　電気電子)

キーワード：マイクロボロメータ、アンテナ結合素子、メンブレン