2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[16a-2R-1~11] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

2015年9月16日(水) 09:00 〜 12:00 2R (231-2)

座長:末益 崇(筑波大)

09:15 〜 09:30

[16a-2R-2] リモート水素プラズマ支援による高密度形成したFeシリサイドナノドットの構造および磁化特性評価

〇張 海1、牧原 克典1、大田 晃生1、宮崎 誠一1 (1.Nagoya Univ.)

キーワード：鉄シリサイド、水素プラズマ、Fe3Si