[16a-4E-9~12] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

[16a-4E-12] 両親媒性液晶型ジブロック共重合体の急速熱的誘導自己組織化による準長距離配向秩序を持った2次元垂直シリンダ列の形成

〇山口 徹¹、小村 元憲³、長井 圭治²、藤原 聡¹、山口 浩司¹、彌田 智一² (1.NTT物性基礎研、2.東工大資源研、3.沼津高専)

キーワード：リソグラフィ、ブロック共重合体、自己組織化