2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

[16p-2D-1~14] 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

2015年9月16日(水) 13:15 〜 17:00 2D (212-2)

座長:嵯峨 幸一郎(ソニー),森 伸也(阪大)

13:45 〜 14:00

[16p-2D-3] 水晶振動子法による多成分系有機分子間相互作用検出

チェ ジェハ1、〇羽深 等1 (1.横国大院工)

キーワード:有機物、分子間相互作用

我々は、水晶振動子(QCM)を用いてシリコン表面の多成分系有機物吸着・脱離挙動をその場観察し、幾つかの有機物分子では分子間相互作用が無視できることを報告している。本報では、特徴的な構造を有する有機分子の組み合わせを選んで水晶振動子上の吸着・脱離を測定したところ、MthとDEPは、気相濃度の変化に対応しない挙動を示す組合せであることから、何等かの分子間相互作用を有しているものと推定される。