[16p-2Q-1~13] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

[16p-2Q-1] パルス化したマイクロ波プラズマＣＶＤを用いたダイヤモンド合成

〇山田 英明¹、茶谷原 昭義¹、杢野 由明¹ (1.産総研)

キーワード：ダイヤモンド、マイクロ波プラズマCVD

ダイヤモンド合成時のガス温度上昇を抑制し、合成速度を維持・向上しつつ合成環境を安定化するによる合成の高効率化を期待し、パルス化したマイクロ波プラズマを用いたダイヤモンド合成を検討してきた。プラズマからの発光強度が増し、高エネルギーラジカルの生成量が増加していることを示唆する結果が得られた。従って、合成速度を維持しつつ、ガス温度上昇の抑制効果が期待できる。