[16p-2Q-1~13] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

[16p-2Q-12] ウエハ型プラズマインジケータによるプラズマ面内分布の評価

〇山川 裕¹、菱川 敬太¹、宮﨑 裕司¹、中村 慶子¹、釆山 和弘¹ (1.㈱サクラクレパス)

キーワード：プラズマ、インジケータ、均一性