2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

8 プラズマエレクトロニクス » 8.3 プラズマ成膜・表面処理

[16p-2Q-1~13] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

2015年9月16日(水) 13:45 〜 17:00 2Q (231-1)

座長:荻野 明久(静岡大)

15:15 〜 15:30

[16p-2Q-7] 誘導結合プラズマ支援RFスパッタリングによるa-SiN薄膜作製と評価

〇石井 優輝1、金子 哲也1、沖村 邦雄1、進藤 春雄1、磯村 雅夫1 (1.東海大院工)

キーワード：ICP、スパッタリング、a-SiN