[11a-A23-1~12] 13.5 デバイス／集積化技術

[11a-A23-4] デバイスシミュレーションによる積層トランジスタ構造の検討

〇服部 淳一¹、福田 浩一¹、太田 裕之¹、前田 辰郎¹ (1.産総研)

キーワード：積層トランジスタ、デバイスシミュレーション、TCAD