[11a-A23-1~12] 13.5 デバイス／集積化技術

[11a-A23-7] ナノワイヤ型ショットキー障壁トンネルFETのON電流密度増大

〇麻田 修平¹、小杉山 洋希¹、橋本 修一郎¹、武井 康平¹、ソン セイ¹、張 旭¹、徐 泰宇¹、若水 昂¹、松川 貴²、昌原 明植² (1.早大理工, 2.産総研)

キーワード：ショットキー、トンネル、ナノワイヤ